按照这个思路,中村进行了尝试。
结果嘛,一次成功!
这种方法的核心,是采用了低温gan缓冲层(500c左右)🖣🔠替代了aln缓冲层。这一基于低温gan缓冲层的“两步法”工艺,成为日后工业界生长gan基led的标准工艺。
当然了,做出这步改良的😰🅃理由🅇,💅🏚🚦也是异常奇怪。中村给出的解释居然是,别人用过的方法,我不用!
这种“二”的说话方式,成永兴也用过!
不就是强词夺理嘛!
谁不会啊!
你有种!
别人对的方法,你也别用!
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第四关,退火工艺。
led从本质上说是一个二极管,二极管的核心结构是半导体-n结。-n结是由n🂍🍝型半导体(内部含有大量自由电子)和型半导体(内部含有大量带🆜🐖正电的自由载流子——空穴)组成的界面。
对gan而言,n型🜁⚴掺杂比较容易实现,但型掺杂却十分困难。在gan中经常使用的型掺杂剂是zn或者n往💭🕇往仍体现高阻特性,这意味着♳🌝型掺杂剂并没有被激活,没有起作用。
这个📉问题曾困惑了科学界很久,最后也是被天野浩解决的。解决方法是用低能电子束辐🏰🝮🎤照方法来获得-gan。
这个方法的发现,天野浩也是耗时很久。他🎜👺🍶从86年起就一🜧直在尝试,直到89年,才突然碰运气得到。
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在这📉个步骤上,中村大侠的“二💅🏚🚦”病再此发作!
他再次推翻了前面科学🏍家的研究成果,改为🎜👺🍶加热🞢🕴!
这也就是所谓退火工艺的由来。